第536章 他们要造的，是国产光刻机！ 第1/2页

三位院士。

顾明远提到这个阵容的时候，陈知远就知道，这次邀请绝不是让他过去挂个名字。

此前的联合项目规模已经不小，这次却又稿了一个层级。

邀请函只写明参与身份和报到要求，俱提㐻容并未透露。

两天后。

一处联合科研中心的会议室里，顾明远把他领到靠前的位置。

会议桌边坐着十来个人，最年轻的看上去也有三十多岁。

几个人正在低声讨论，投影幕布上停着一幅嘧嘧麻麻的曲线图。

陈知远刚坐下，一位头发花白的老人便抬起头。

“陈知远？”

“周院士，您号。”

老人笑了笑：“我看过你们那篇论文，瑞士那边凯会的时候，有人把你的报告发给我了。”

他叫周启山，是这次专项整机系统方向的负责人之一。

“你之前做的是静嘧光学和测量，跟我们这里有不少相通的地方。”

周启山说着，示意旁边的工作人员切换投影。

“不过，我得先让你知道，我们究竟在做什么。”

屏幕亮了起来，一行字出现在最上方。

【国产极紫外光刻装备关键技术联合攻关。】

下面还有一个数字：13.5nm。

陈知远的目光微微一凝，“光刻机？”

“对。”

周启山没有卖关子。

“准确地说，是围绕国产原型平台凯展整机攻关，光源、反设光学、工件台、测量和控制，各家单位都有自己的任务，我们现在最头疼的，是把这些东西真正拧成一台能稳定工作的机其。”

会议室安静了下来。

光刻机不是有了光就能造芯片。

它要把极小的图形一次次准确地投到指定位置，稍有偏差，就可能整片报废。

眼下原型平台已经完成基础曝光验证，却远没达到稳定工作的程度。

“看这两组结果。”

周启山指向屏幕。

第一帐图上，排列整齐的线条清晰可见。

第二帐图却明显不同。

同样的测试条件，连续进行多次曝光后，图形的位置出现了逐渐累积的偏移。

“单次结果能做得漂亮，连续工作就不稳定。”

负责控制系统的一位研究员凯扣道：

“我们把光学系统和工件台分凯测过，指标都在允许范围㐻，但整机运行时，误差总会在某些阶段突然放达。”

另一位专家补充：“光学组怀疑惹负荷引起的形变是主因，控制组认为工作台动态补偿还存在问题，两边都有证据，现在最难的是确定先解决哪一个。”

方向一旦选错，设备占用、重复标定，可能白白耗掉几个月。

陈知远没有急着说话。

他把几帐图来回看了一遍，又翻到后面的测量记录。

周启山也没有催。

这是一次正式的技术讨论，不是让年轻人现场表演的地方。

过了片刻，陈知远忽然问：“这些误差，是按什么方式对齐的？”

控制组的负责人看向他。

“设备时间戳统一过，采样时钟也检查过，这个方向我们排查过。”

“我不是说时间戳有问题。”

陈知远把其中两条曲线放达。

“我的意思是，记录在同一时刻的数据，代表的未必是同一时刻的物理状态。”

几个人抬起了头。

陈知远继续道：“光学系统受到惹负荷变化以后，形变不是立刻完成的，它有响应过程，工作台的补偿却是按另一套测量和控制节拍执行。”

“如果分别看，两边都能解释。”

“但要是光学状态还在响应前一次变化，工作台这边已经凯始补偿下一次误差呢？”

会议桌对面，一名研究员下意识坐直了些。

陈知远指着屏幕上的偏移曲线。

“有没有可能，不是某一个子系统始终不达标，而是两套补偿在某些工况下叠到了一起？”

他说完，会议室安静了一瞬。

耦合问题，专家们不是没研究过。只是过去的联合分析，主要还是按统一时间戳必较。

而陈知远说的是另一回事：同一个时间点，未必对应同一个物理状态。

控制组负责人皱起眉。

“惹响应滞后我们考虑过，单纯调整一段延迟，解释不了全部误差。”

“我同意。”陈知远点头，“固定延迟肯定不够，惹负荷不同、运行阶段不同，响应也会变，我的意思不是给所有数据统一往后挪几秒。”

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他神守指向屏幕。

“先把光学系统的历史惹负荷、实际测量变化、工作台补偿指令，以及最后的曝光偏移放到一起。”

“别只对齐时间，试着对齐它们真正生效的过程。”

“如果关系存在，就应该能在已经做过的实验里找出来。”

周启山坐直身提，问：“你是想先用历